Trước năm 1975, KCN tập trung thành lập tại Biên Hòa (Đồng Nai) có tên gọi “Khu kỹ nghệ Biên Hòa” thành lập năm 1963. Đây là KCN lớn nhất và được thành lập sớm nhất miền Nam lúc bấy giờ (cùng thời gian với một số KCX và KCN tập trung nổi tiếng được thành lập tại Đài Loan, Hàn Quốc, Malaysia, Thái Lan) do Công ty Khuyếch trương các khu kỹ nghệ, tên giao dịch là Sonadezi (viết tắt từ tiếng Pháp: Societé Nationale de Developpement des Zones Industrielles) xây dựng và quản lý. Đến năm 1975, Khu kỹ nghệ Biên Hòa đã có gần 100 nhà máy được thành lập và đi vào hoạt động. Sau năm 1975, các điều kiện tự nhiên của vùng, đặc biệt với chủ trương “Đổi mới” bắt nguồn từ Nghị quyết đại hội Đảng lần thứ VI (1986) được cụ thể hoá bằng các chủ trương của Chính phủ, thể chế hoá bằng các đạo luật với bước ngoặt sự ra đời của Luật đầu tư nước ngoài (năm 1987). Lúc bấy giờ, để thu hút đầu tư nước ngoài phát triển công nghiệp, tăng cường xuất khẩu, công ty Phát triển Công nghiệp Tân Thuận và công ty Central Trading and Development (CT&D) thuộc Vùng lãnh thổ Đài Loan liên doanh xây dựng KCX Tân Thuận vào năm 1991 (Tp.Hồ Chí Minh). KCX Tân Thuận là KCX đầu tiên của TP.HCM và của cả nước
Giai đoạn 1991 – 1995, một làn sóng đầu tư nước ngoài vào Việt Nam, đó là một cơ hội để hàng loạt các KCN trong vùng KTTĐPN ra đời trong giai đoạn 1991 – 1997 và thu hút đầu tư nước ngoài.
Sau KCX Tân Thuận thành lập (năm 1991), ở Tp.HCM lần lượt thành lập các KCX Linh Trung I (1991), KCN Bình Chiểu (1996), Tân Tạo (1996),… Sự lan truyền thành lập mô hình KCN diễn ra nhanh. Ở Đồng Nai, các KCN Amata (1994), Nhơn Trạch I (1995), Gò Dầu (1995), Biên Hòa II (1995), Loteco (1996),…; ở Bình Dƣơng: KCN Sóng Thần I (1995), Sóng Thần II (1996), Đồng An (1996), Việt Hƣơng (1996), VSIP (1996),…; ở Bà Rịa – Vũng Tàu: KCN Mỹ Xuân A (1996), Đông Xuyên (1996),…; ở Long An: KCN Đức Hòa I (1997),… lần lượt ra đời.
Sau năm 1975, sự hình thành các KCN vùng KTTĐPN diễn ra nhanh trong giai đoạn 1991 – 1997, bắt đầu từ Tp.HCM, Đồng Nai và sau đó là Bình Dương, Bà Rịa – Vũng Tàu, Long An,…
Sự hình thành các KCN vùng KTTĐPN bắt nguồn từ nhận thức của lãnh đạo các địa phương cần thiết phải thành lập KCN để thu hút đầu tư nước ngoài, phát triển kinh tế cho địa phương. Ngay từ đầu, các KCN trong vùng được thành lập theo quy hoạch xây dựng KCN của từng địa phương (lúc đó cũng chưa có quy hoạch KCN vùng KTTĐPN), đó cũng là nguyên nhân giải thích lý do tại sao các KCN trong vùng KTTĐPN thiếu sự liên kết phối hợp nhau.
